15年專注精密自(zì)動化設備研發廠家
產品名稱:半導體晶圓噴光刻膠一體機
產品介(jiè)紹:
人人天天日日夜夜狠狠干自主設計研發(fā)的半導體晶圓噴光刻膠一體機,具有性價比高、靈活性強、產能效率高等優(yōu)勢;采用壓電噴射閥噴射速度快,點膠精度高,最小點徑0.2mm,最小線(xiàn)徑0.3mm,一致性高,非接觸,避免針頭碰撞工件;極小點膠量(liàng),適用於更緊湊(còu)的空間。人人天天日日夜夜狠狠干半導(dǎo)體精密點膠(jiāo)設備可以更好的滿足(zú)半導體行業點膠工藝需求。
點膠工藝:
芯片的固定-紅(hóng)膠、電氣的連接固(gù)定(dìng)-銀漿、固定MEMS器件-矽(guī)膠(jiāo)、COB封裝防護(hù)-環氧膠,芯片錫球保護(Underfill)-環氧(yǎng)膠等
技術特點 晶圓(yuán)點(diǎn)膠(jiāo)機,伺服絲杆,龍門結構,雙(shuāng)Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式噴射閥,大(dà)視野視覺相機,點膠精度(dù)高 機械手搬運機構,采用上銀4軸微小型(xíng)機器人進行搬運 機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中,自動關閉艙門在真空環境中利用光照烘烤(kǎo)固化(huà)
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